編者按
重大項(xiàng)目建設(shè),是穩(wěn)定經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)的“壓艙石”,更是培育新質(zhì)生產(chǎn)力、推動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展的“強(qiáng)引擎”。連日來(lái),湖北日?qǐng)?bào)全媒記者走進(jìn)重大項(xiàng)目一線,看鼎龍光刻膠打破壟斷爬坡放量、黃石PCB搶抓AI窗口全速?zèng)_刺、南漳“超級(jí)充電寶”火熱建設(shè)……感受荊楚大地上涌動(dòng)的發(fā)展熱潮與創(chuàng)新激情。
6月15日,在潛江市江漢鹽化工業(yè)園內(nèi),湖北鼎龍控股股份有限公司年產(chǎn)300噸KrF/ArF高端晶圓光刻膠產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)一派繁忙,生產(chǎn)線高速運(yùn)轉(zhuǎn),一批批高端光刻膠產(chǎn)品有序下線,發(fā)往國(guó)內(nèi)頭部晶圓廠。自今年3月20日二期產(chǎn)線正式投產(chǎn)以來(lái),項(xiàng)目穩(wěn)步爬坡,接連斬獲批量訂單。
8款高端晶圓光刻膠產(chǎn)品獲得批量訂單
如果把芯片制造比作在硅片上雕刻納米級(jí)城市,光刻機(jī)是雕刻機(jī),那么光刻膠就是這座城市的“規(guī)劃藍(lán)圖”,它決定了雕刻精度、清晰度、完整性,是半導(dǎo)體制造中技術(shù)壁壘最高的材料之一。
長(zhǎng)期以來(lái),高端KrF、ArF光刻膠市場(chǎng)被日本信越化學(xué)、JSR等少數(shù)企業(yè)壟斷,國(guó)產(chǎn)化率僅在1%左右。此次落地潛江的年產(chǎn)300噸產(chǎn)線,是國(guó)內(nèi)首條打通“有機(jī)合成—高分子合成—精制純化—光刻膠混配”全流程的高端晶圓光刻膠量產(chǎn)線,可實(shí)現(xiàn)核心樹(shù)脂、高純度單體、光致產(chǎn)酸劑等關(guān)鍵原料自主制造,從源頭筑牢供應(yīng)鏈安全防線。

湖北鼎龍控股股份有限公司潛江園區(qū)。 (受訪單位供圖)
項(xiàng)目投產(chǎn)至今僅兩個(gè)多月,市場(chǎng)捷報(bào)頻傳。鼎龍股份6月12日發(fā)布的公告顯示,公司年產(chǎn)300噸KrF/ArF高端晶圓光刻膠產(chǎn)線自3月投產(chǎn)后,已向兩家頭部晶圓廠交付數(shù)百加侖浸沒(méi)式ArF及KrF光刻膠,客戶近期合計(jì)新增訂單近1000加侖。
截至公告日,公司已有8款高端晶圓光刻膠產(chǎn)品獲得批量訂單,較一季度末新增5款。“后續(xù)隨著產(chǎn)品持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行,供貨份額還將穩(wěn)步提升,未來(lái)一兩年訂單放量具備較強(qiáng)確定性?!倍埞煞莨饪滩牧蠘I(yè)務(wù)總經(jīng)理劉敏透露。
除已獲訂單的8款產(chǎn)品外,還有超10款產(chǎn)品進(jìn)入“加侖樣”測(cè)試階段——這是訂單轉(zhuǎn)化前的重要關(guān)口。隨著二期300噸產(chǎn)線產(chǎn)能持續(xù)釋放,鼎龍股份正穩(wěn)步擴(kuò)大對(duì)國(guó)內(nèi)主流晶圓廠的供貨份額。
“短短4年時(shí)間,我們從零起步,到目前累計(jì)布局40余款產(chǎn)品,產(chǎn)品覆蓋國(guó)內(nèi)主流芯片制造制程?!?022年,當(dāng)國(guó)內(nèi)面臨高端光刻膠可能被斷供的風(fēng)險(xiǎn)時(shí),鼎龍股份毅然決定迎難而上,于當(dāng)年5月正式啟動(dòng)晶圓光刻膠項(xiàng)目。劉敏告訴湖北日?qǐng)?bào)全媒記者,這份“鼎龍速度”的背后,是公司多年積累的平臺(tái)化優(yōu)勢(shì)——此前已在面板光刻膠、先進(jìn)封裝光刻膠領(lǐng)域深耕,并在有機(jī)合成、高分子合成等七大技術(shù)平臺(tái)上擁有深厚積淀。劉敏表示,光刻膠的核心原材料樹(shù)脂與光酸,恰好能分別依托公司化學(xué)碳粉和有機(jī)合成的技術(shù)積累?!氨热绻饪棠z的樹(shù)脂,與我們做了20多年的化學(xué)碳粉材料同屬苯乙烯-丙烯酸酯體系,底層技術(shù)是相通的?!?/p>
用量產(chǎn)大廠打消客戶顧慮

湖北鼎龍控股股份有限公司生產(chǎn)的高端晶圓光刻膠產(chǎn)品。
從實(shí)驗(yàn)室到客戶產(chǎn)線,光刻膠的驗(yàn)證之路布滿荊棘?!斑@好比在飛機(jī)飛行中換引擎。”劉敏道出了國(guó)產(chǎn)替代之路的艱辛。
芯片制造是數(shù)千道工序的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),更換光刻膠這樣的核心材料,差一納米都可能導(dǎo)致芯片報(bào)廢“機(jī)毀人亡”。海外企業(yè)做了三四十年才磨出的配方、工藝、品控體系,國(guó)內(nèi)企業(yè)必須用更嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn)去對(duì)齊。送小樣、加量測(cè)試、小批量跑貨……整個(gè)驗(yàn)證周期順利的話要2年,不順利要3到5年。即便通過(guò)驗(yàn)證,客戶從切出10%的訂單到逐步放量至100%,仍需以“月”為單位觀察穩(wěn)定性。
如何讓挑剔的晶圓廠敢于“第一個(gè)吃螃蟹”?鼎龍的策略是“給自己斷后路”——在研發(fā)階段便同步開(kāi)建年產(chǎn)300噸的量產(chǎn)大廠。
今年3月,這座建筑面積近1.2萬(wàn)平方米的產(chǎn)線正式投產(chǎn),一期30噸產(chǎn)線也已穩(wěn)定運(yùn)行。公司還建設(shè)了光刻膠配方生產(chǎn)線及配套原材料合成純化平臺(tái),實(shí)現(xiàn)從核心單體、光酸、樹(shù)脂到成品光刻膠的全鏈條自主制造。
“只要路走對(duì)了,就不怕遠(yuǎn)?!眲⒚籼寡?,光刻膠放量是個(gè)慢變量,從送樣到批量訂單至少需要兩年,目前潛江基地的產(chǎn)能爬坡正穩(wěn)步推進(jìn),2026年下半年交付量預(yù)計(jì)顯著提升。他說(shuō),鼎龍的目標(biāo)是讓中國(guó)晶圓廠不再擔(dān)心“光刻膠斷供”,這才是國(guó)產(chǎn)材料企業(yè)最大的價(jià)值。
湖北日?qǐng)?bào)全媒記者 王哲 通訊員 李雪婷
編輯:董滿